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半导体制造装置顶级厂商应用材料在触摸面板领域发起攻势

全球最大的半导体制造装置厂商,并拥有液晶面板CVD装置领域最大份额的美国应用材料(Applied Materials,AMAT),向触摸面板用制造装置领域发起了攻势。该公司在4月15日面向新闻媒体举行的产品说明会上,介绍了两款其倾力制造的触摸面板用成膜装置等,表现出其对触摸面板市场增长的期待以及扩大装置业务的热情。

  该公司显示器及玻璃产品部门(Display and Glass Products Group)副总裁兼总经理Jim Scholhamer表示,“触摸面板市场在飞速发展,将成为FPD制造装置市场增长的关键推动力”。该公司迄今为止已供货了5000万美元的触摸面板用成膜装置,而预计2~3年后市场规模将达到每年2亿美元以上。

  作为触摸面板用ITO(Indium Tin Ooxide)成膜装置,应用材料一直在销售(1)适用于玻璃底板的纵向在线式溅射装置“New Aristo”,和(2)支持薄膜底板的卷对卷式溅射装置“SmartWeb”。

  (1)的玻璃底板溅射,多被用作了液晶面板部材——彩色滤光片用ITO成膜装置(参阅本站报道)。该公司AKT显示器部门(Display Group)的溅射产品(Sputter Products)负责人Uwe Muhlfeld表示:“以彩色滤光片用途为中心,本公司已经向全球提供了162台装置,其中的一部分用于触摸面板”。不仅是ITO膜,触摸面板需要的SiO2膜和金属膜也可连续成膜。适用的玻璃底板尺寸,触摸面板的第四代(底板尺寸为730mm×920mm)是最大的,但瞄准今后不仅是手机,笔记本电脑也将使用触摸面板这一趋势,将在2011年中期使其适用于第六代玻璃底板(底板尺寸为1500mm×1850mm)。

  (2)的薄膜底板溅射,是预料到触摸面板底板的薄膜化、触摸面板的进一步大型化及低成本化而开发的装置。还可用于制造太阳能电池和采用薄膜底板的可弯曲显示器。迄今供货了30台左右。美国应用材料称,其在卷对卷技术方面,以食品包装薄膜的制造为代表,拥有历经50年积累的悠久历史。虽然在电子技术领域的成果还不多,但该公司能源及环境解决方案(Energy&Environmental Solutions)部门的Web Coating Products负责人John D. Busch充满信心地表示:“此后有望实现大幅增长”。此次的溅射装置,每台可最多安装12个阴极(Cathode)。薄膜底板的宽度最大可支持1400mm。

本文转自  日经BP社,技术在线网

  http://china.nikkeibp.com.cn/news/sino/51046

 
信息来源:日经BP社  上传时间:2010-04-21  本会发布日期:2010-04-21
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